《清洗間安全管理規(guī)范》講解了確保超凈清洗間環(huán)境安全和操作人員健康的詳細安全管理規(guī)則。規(guī)范針對有機與無機化藥必須分開使用的具體要求進行了闡述，規(guī)定所有使用化學藥品的濕法刻蝕和腐蝕工藝應在專門的清洗間中操作。它對個人防護裝備的正確選擇和使用做出明確規(guī)定，并強調了防護用品用后需清理和整齊放置。文中還特別指出化學藥品的操作要先了解使用注意事項及相應的應急措施，在清洗樣品時節(jié)約化藥、正確選擇器皿并嚴格控制液面高度。清洗操作中的加熱、冷卻等活動需在有看管下進行或標記清晰的標識牌。該文檔詳述處理廢液的方式，要求根據性質正確稀釋和分類存放廢液，并明確了不同廢液如丙酮、三氯乙烯等特殊的處理和回收方式，同時說明傾倒廢濃硫酸的具體步驟。對于設備如8槽清洗機的公用清洗器具以及清洗間的日常維護，包括臺面清潔整理、及時關閉設備和記錄清洗操作細節(jié)方面提供了詳盡指導。此外，《規(guī)范》特別提及氫氟酸等特殊化藥配制溶劑的選擇依據及其順序。整體而言，該文檔為創(chuàng)建高效有序且安全的清洗間環(huán)境提供了全面且可執(zhí)行的規(guī)定。
《清洗間安全管理規(guī)范》適用于需要執(zhí)行精細清洗工作、特別是涉及到半導體制造以及其他對污染極度敏感行業(yè)的生產車間，例如晶圓制造企業(yè)、電子芯片加工廠等。這些行業(yè)中清洗工作直接關系到產品質量和生產安全，本規(guī)范能夠幫助建立標準化流程，減少由于操作失誤帶來的化學品傷害事故風險，保障操作員的安全與健康，確保車間內部操作符合環(huán)境保護和職業(yè)健康的法規(guī)標準。同時，此規(guī)范也適合用于科研機構內設立超凈實驗室，以保障研究人員的人身安全保障并提升科研環(huán)境質量。
