關鍵尺寸掃描電子顯微鏡 校準規范JJF(冀) 213-2023.pdf

《關鍵尺寸掃描電子顯微鏡校準規范》講解了河北省市場監督管理局發布的針對放大倍數為20k至200k的關鍵尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）的校準要求。規范詳細描述了用于該儀器校準的技術標準和程序，確保測量精度符合要求。文檔介紹了儀器的工作原理：在高真空條件下，通過電子槍發射的電子束轟擊樣品表面產生二次電子信號，轉換為圖像，并通過量測軟件確定線條寬度值。關鍵術語包括線寬和線寬標準樣板，明確了這些專用名詞的具體定義及應用情境。技術特性涉及示值誤差與重復性的規定。對于儀器正常工作所需環境條件進行了明確界定，包括溫濕度、潔凈度等要素，以避免外界因素干擾測量結果。同時列出了必備的標準校準器及其技術規格，例如線寬標準樣板需達到U=3.0nm（k=2）擴展不確定度。在進行校準操作時，需要準備充分且使設備處于穩定狀態后按照指定步驟開展測量，并特別強調X、Y軸向兩次不同的線寬測量過程，確保多角度準確評估示值誤差，最終結合所有點位的結果來判斷CD-SEM的測量性能是否達標。

《關鍵尺寸掃描電子顯微鏡校準規范》適用于微電子行業中各類線路板以及其他需要精準測量線條寬度領域的企業和技術人員，幫助他們建立正確的校準實踐。該標準同樣對科研機構的研究人員有重要指導意義，在材料科學、納米技術等相關領域的研發中發揮重要作用。此外，計量檢測單位也能依據此文檔制定更嚴格、更合理的測試方案和服務條款，提高業務能力，為制造業提供可靠的質量保證支持。