晶體硅光伏電池用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積（PECVD）設(shè)備 第1部分：管式 PECVD 設(shè)備SJT11829.1-2022.pdf
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晶體硅光伏電池用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積（PECVD）設(shè)備 第1部分：管式 PECVD 設(shè)備SJT11829.1-2022.pdf
《晶體硅光伏電池用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積（PECVD）設(shè)備第1部分：管式 PECVD 設(shè)備SJT11829.1-2022》講解了針對用于生產(chǎn)晶體硅光伏電池的管式PECVD設(shè)備的要求。文檔涵蓋了該類型設(shè)備的技術(shù)規(guī)格與設(shè)計(jì)原則，明確了管式PECVD裝備的設(shè)計(jì)、制造和安全方面必須遵守的基本準(zhǔn)則，確保這些設(shè)備在光伏產(chǎn)業(yè)中可以高效運(yùn)作并且安全性高。從結(jié)構(gòu)到性能指標(biāo)再到操作指南以及測試方法都有詳細(xì)描述，并且特別指出了對于工作環(huán)境的具體需求，包括溫度控制范圍、氣體流通條件、壓力穩(wěn)定性的標(biāo)準(zhǔn)等內(nèi)容以滿足高質(zhì)量電池生產(chǎn)的苛刻要求。此標(biāo)準(zhǔn)還規(guī)定了如何對這些設(shè)備進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，使得長期使用過程中的可靠性不受影響，從而保障持續(xù)穩(wěn)定的工業(yè)生產(chǎn)流程。
《晶體硅光伏電池用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積（PECVD）設(shè)備第1部分：管式 PECVD 設(shè)備SJT11829.1-2022》適用于晶體硅光伏行業(yè)的工程師和技術(shù)人員。具體而言它為參與開發(fā)、采購或操作管式PECVD設(shè)備的專業(yè)人士提供了一個全面詳盡的技術(shù)框架。對于制造商來說這是指導(dǎo)生產(chǎn)和產(chǎn)品質(zhì)量保證的重要參考資料；對于最終用戶而言則有助于正確安裝、調(diào)試、運(yùn)行及維護(hù)該類裝置，同時確保符合國際和地方有關(guān)電氣機(jī)械設(shè)施的安全規(guī)范與環(huán)境法規(guī)。
