《清洗間安全管理規(guī)范》講解了超凈清洗間的各項(xiàng)管理規(guī)則，從多個(gè)方面為保持超凈清洗間的安全有序提供了詳細(xì)的指導(dǎo)。本規(guī)定指定了清洗間負(fù)責(zé)人需履行監(jiān)督和違規(guī)行為制止職責(zé)。規(guī)范說(shuō)明有機(jī)與無(wú)機(jī)化藥必須分置在獨(dú)立清洗間使用，在具體濕法刻蝕、腐蝕工藝中明確有機(jī)和無(wú)機(jī)清洗的操作要求，并強(qiáng)調(diào)通風(fēng)柜不可串用兩種化學(xué)藥品的作業(yè)。同時(shí)文檔闡述個(gè)人防護(hù)措施的重要性，無(wú)論是無(wú)機(jī)或涉及有毒、劇毒化藥進(jìn)行的有機(jī)清洗操作，均須根據(jù)不同的情況正確佩戴相應(yīng)的防護(hù)裝備。文檔詳細(xì)介紹了在清洗過(guò)程中節(jié)約使用化學(xué)品等耗材的規(guī)定及標(biāo)識(shí)要求，確保使用者合理高效利用資源且避免浪費(fèi)。對(duì)新液管理和廢液處理也有專門規(guī)定，特別是對(duì)于有特殊成分（如含有高比例濃硫酸）的廢物處置進(jìn)行了具體要求，以保障廢液處理過(guò)程安全規(guī)范。另外，文件還涉及到清洗器具的正確使用以及操作前后應(yīng)做的檢查維護(hù)工作的具體事項(xiàng)。最后對(duì)含氟化藥品的特殊操作容器選擇給出嚴(yán)格限制，并指出配制無(wú)機(jī)溶液時(shí)加入順序，這些都有利于降低事故發(fā)生的概率，保證工作環(huán)境安全可靠。
《清洗間安全管理規(guī)范》適用于超凈清洗間的管理者、技術(shù)操作員及輔助人員等全體參與清洗流程相關(guān)人員，旨在為其提供一整套可執(zhí)行的操作手冊(cè)。此管理規(guī)范覆蓋了微電子生產(chǎn)行業(yè)中超凈環(huán)境相關(guān)的清潔操作區(qū)域，尤其是針對(duì)需要精細(xì)處理和高度安全保障的空間。通過(guò)制定該標(biāo)準(zhǔn)文件來(lái)保障工作人員的人身安全，保護(hù)工作設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行，并維持良好而嚴(yán)格的實(shí)驗(yàn)室秩序。
