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產品幾何技術規范（GPS）表面結構區域法第604部分：非接觸（相干掃描干涉）式儀器的標稱特性GBT33523.604-2022.pdf

上傳人：一***

文檔編號：274707

上傳時間：2023-07-16

格式：PDF

頁數：37

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關鍵詞：: 產品幾何技術規范GPS 表面結構區域法第604部分：非接觸相干掃描干涉式儀器的標稱特性GBT33523.604-2022 產品幾何技術規范 GPS 表面結構區域 604 部分接觸

資源簡介：: 《產品幾何技術規范（GPS）表面結構區域法第604部分》講解了非接觸（相干掃描干涉）式儀器的標稱特性，這項標準針對表面結構測量中涉及的非接觸式測量技術進行了詳細規范。文檔深入探討了相干掃描干涉式儀器的原理，涵蓋了此類設備的工作機理、光束路徑以及如何利用激光進行精確高度和位移檢測的過程。該部分內容詳盡闡述了相干性、波長選擇及光學設計要點，并解釋了通過相位變化分析獲取微納米級別形貌數據的方法，確保儀器能夠準確可靠地測量微觀幾何特征。

《產品幾何技術規范（GPS）表面結構區域法第604部分》適用于機械制造與精密加工行業的質量控制領域。特別適用于那些需要嚴格管控零部件表面質量以滿足高端制造業如航天航空、汽車工程、半導體芯片生產等領域對精度極高要求的企業。這些企業往往依賴高精度的非接觸式測量技術來保證產品性能穩定性和可靠性。此標準提供的指導原則和技術參數可以作為研發部門選購合適測量工具或評估現有設備升級需求的重要依據，也為實驗室在建立標準測量流程提供了可靠的參考框架。

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