半導體材料術語GBT 14264-2009.pdf

《半導體材料術語GBT 14264-2009》講解了本標準對半導體材料及其相關領域的主要術語和定義的規定。該標準詳細描述了與半導體材料的生長工藝、加工過程、晶體缺陷分析以及表面污染處理等方面緊密關聯的專業詞匯和技術表述，為行業內的溝通交流建立了統一的語言基準。對于元素半導體材料以及化合物半導體材料，此標準給出了精確且規范性的界定，并通過一系列專業術語為從業人員理解這些復雜技術和現象提供了準確可靠的依據。本標準中提及的規范性引用文件，將ASTM F1241硅技術術語和SEMI M59硅技術術語引入了進來。這兩份文件作為補充，其內容涉及了特定的技術術語及其定義，在特定領域的應用中保持一致性。需要注意的是，有標注日期的引用文件只適用于當時的版本，而未注明日期的，則應采用最新的有效版本。

《半導體材料術語GBT 14264-2009》適用于廣泛參與半導體材料研發、生產、檢測等環節的企業和個人。這包括但不限于從事元素和化合物半導體材料制造的工程師、技術人員、質檢人員及研究人員。無論是新建生產線還是優化現有生產工藝過程中涉及到的交流和文檔記錄，這份標準都能起到關鍵的指導作用。它還為高校和科研機構進行相關學術研究、發表成果時提供了一套公認且權威的技術語言體系。