電子氣體 四氟甲烷GBT43976-2024.pdf

《電子氣體 四氟甲烷GBT43976-2024》講解了有關四氟甲烷這種電子氣體在生產、儲存、運輸以及應用過程中的技術要求、檢驗方法、包裝規范和標識信息，旨在提高四氟甲烷使用的安全性。該標準針對四氟甲烷闡述了具體的技術指標參數，如純度范圍、雜質限量等，規定其純度應達到一定的數值要求，并列出多種主要的有害物質含量上限來確保質量穩定可靠。為了保障安全與環保，在儲存方面提及到環境因素影響下需要遵循的安全距離規則、通風條件設定還有防護設備配備；運輸時，則強調容器選擇依據、裝載固定手段以及特殊情況下處置方案。文件中還對四氟甲烷的應用場景給出指導性建議，從芯片制造環節中的刻蝕工序到一些特殊的物理實驗過程中發揮的作用都進行了詳細的解析。

《電子氣體 四氟甲烷GBT43976-2024》適用于從事四氟甲烷研發、生產加工、經銷貿易的企業，這些企業在遵循國家標準以確保產品質量的同時，也能夠依靠此規范來進行更合理科學的產品管控。另外也適用于直接利用四氟甲烷作為原材料或中間品的相關企業單位例如半導體材料廠、微電子產品制造商等，使它們能夠在操作使用過程中嚴格執行各項條款從而最大程度保障工作人員生命健康安全和減少意外事故產生的可能性。