干涉顯微鏡 JJG77-2006.pdf

《干涉顯微鏡 JJG77-2006》講解了干涉顯微鏡的檢定規程，內容包括范圍、引用文獻、概述、計量性能要求、通用技術要求和計量器具控制等。該規程適用于雙光束干涉顯微鏡的首次檢定、后續檢定和使用中檢驗，并詳細規定了干涉濾光片特性、測微鼓輪微分筒刻線錐面與固定套管刻線面之間的距離、測微目鏡十字線分劃板指標線與毫米分劃板刻線相對位置、測微目鏡測微鼓輪刻線與毫米分劃板刻線相符性、測微目鏡示值誤差、光學系統成像質量、工作臺與主光軸相互位置、輔助成像裝置特性以及儀器示值誤差等多項計量性能要求。同時，規程還對檢定條件、項目、方法、結果處理和檢定周期做了明確規定。此外，附錄部分提供了干涉顯微鏡示值誤差檢定結果不確定度評定和檢定證書及檢定結果通知書格式。此規程由國家質量監督檢驗檢疫總局發布，中國計量科學研究院起草，全國幾何量工程參量計量技術委員會負責解釋，確保了在具體應用中的權威性和指導性。

《干涉顯微鏡 JJG77-2006》適用于從事精密測量工作的實驗室和技術檢測機構，特別是那些需要對表面粗糙度參數進行高精度測量的場合。該規程為這些單位提供了詳細的檢定標準和操作指南，確保了干涉顯微鏡在使用過程中的準確性和可靠性。無論是科研機構還是工業生產部門，只要涉及到使用干涉顯微鏡進行微觀幾何形狀特性測量，都可以依據此規程來規范設備的檢定流程，提高測量數據的質量，保障產品質量和科學研究的準確性。