MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗(yàn)方法GBT42191-2023.pdf

《MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗(yàn)方法GBT42191-2023》講解了關(guān)于微機(jī)電系統(tǒng)中壓阻式壓力敏感器件在各種環(huán)境條件下進(jìn)行測試和驗(yàn)證其工作性能的方法及規(guī)范。文檔涵蓋了從試驗(yàn)的基本概念、原理，到具體的實(shí)施步驟與要求；不僅包含了對初始靜態(tài)特性，如靈敏度、線性度等參數(shù)測量的方法論，也包括了長期穩(wěn)定性、重復(fù)性和滯后等動(dòng)態(tài)特性的評估標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)，還詳細(xì)闡述了不同溫度、濕度、沖擊以及振動(dòng)條件下進(jìn)行特殊環(huán)境影響測試的技術(shù)手段和評判準(zhǔn)則。該文件旨在為確保MEMS壓阻式壓力傳感器在其全生命周期內(nèi)保持準(zhǔn)確穩(wěn)定的壓力檢測能力提供一套完整詳盡且具有可操作性的技術(shù)指南。

《MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗(yàn)方法GBT42191-2023》適用于涉及MEMS技術(shù)研發(fā)生產(chǎn)、質(zhì)量檢測的企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)。具體來說，所有參與到MEMS壓阻式壓力敏感器件設(shè)計(jì)開發(fā)、制造加工環(huán)節(jié)的技術(shù)人員可以通過遵循這份標(biāo)準(zhǔn)來保證產(chǎn)品符合預(yù)期的技術(shù)要求；對于負(fù)責(zé)質(zhì)量控制、產(chǎn)品檢驗(yàn)工作的部門而言，此標(biāo)準(zhǔn)提供了權(quán)威可靠的性能檢測依據(jù)。此外，在高校或科研單位開展相關(guān)基礎(chǔ)研究和技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目時(shí)同樣需要參考這一國家標(biāo)準(zhǔn)以獲得準(zhǔn)確有效的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，從而推動(dòng)整個(gè)行業(yè)的規(guī)范化發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步。